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ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型

更新時(shí)間:2022-11-15

簡(jiǎn)要描述:

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型20S系列,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶(hù)標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。
可精確、快速測(cè)量腐蝕性氣體(如:NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。

型號(hào):20S系列點(diǎn)擊量:1063

  免費(fèi)咨詢(xún):86-021-59966206

  發(fā)郵件給我們:501630350@qq.com

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型20S系列

應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所

● 泄漏檢測(cè)

● 環(huán)境監(jiān)測(cè)

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 工業(yè)爐窯

● 半 導(dǎo) 體

● 汽車(chē)制造

● 計(jì)量校準(zhǔn)

● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型20S系列

產(chǎn)品特色


● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

● 可選高精度:優(yōu)于0.5%

● 量程可測(cè)比1%-100%

● 響應(yīng)時(shí)間快,僅需10 ms

● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體



技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類(lèi)    內(nèi)置了130種氣體,請(qǐng)參考背面

                   一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程     從0-0.5 SCCM   到   0-5000 SLPM

最大顯示流量    128 %滿量程

顯  示  屏    帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±(0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)

高  精  度    ±(0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程),選配

                   僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復(fù)  性    ± 0.2 %滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃(從25℃開(kāi)始)

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程壓力漂移    ±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)

                  (從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始)

響應(yīng)時(shí)間    10 ms

預(yù)熱時(shí)間    <1 s

默認(rèn)標(biāo)況(STP)    25 ℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))

工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項(xiàng))

溫度精度    ±0.75℃

工作濕度    0 ~100 %,無(wú)冷凝

最大工作壓力    1 MPa  表壓

最di操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80 KPaA以上使用; 

                其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.5%滿量程

極限耐壓    1.1MPa  表壓,進(jìn)出口最大瞬時(shí)壓差可為0.5 MPa

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率;

                模擬信號(hào):1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、                    

                   Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓     9 - 24VDC (如選4 - 20 mA輸出,須為12 - 24 VDC )

供電電流     40 mA (+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC)

電氣接口    DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)     316L不銹鋼、FFKM(標(biāo)準(zhǔn))

                   可根據(jù)特殊氣體選用FKM、EPDM、Buna

過(guò)程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無(wú)要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA(可選)


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